|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОЧИСТКИ ГЕКСАФТОРЭТАНА |  |
Номер публикации патента: 1438170 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C07C017/38 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 473707, кл. C 07C 17/38, 1972. Патент США N 3696156, кл. C 07C 17/38, опублик. 1972. |
| Имя заявителя: | | | Изобретатели: | Бушина Н.Д.
Назаренко А.А.
Сорокин А.И.
Треногина Т.К.
Яшманова Н.П.
Шилов |
Реферат | |
Изобретение касается галоидуглеводородов, в частности способа очистки гексафторэтана - травильного средства для изготовления интегральных схем в электронной промышленности. Цель - упрощение процесса. Очистку ведут адсорбцией тетрафторэтилена высококремнеземистым синтетическим цеолитом - эрионитом формулы (Na2O · K2O) · Al2O3 (6-7,4) SiO2 при комнатной температуре. Способ позволяет получать гексафторэтан 99,9-100%-ной чистоты, проводить процесс без предварительной обработки сорбента. Кроме того, последний после девяти циклов работы не теряет адсорбционной способности, в то время как в известном случае после трех циклов адсорбционная емкость снижается на 7%. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента