Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЛОЕВ КАРБИДА КРЕМНИЯ

Номер публикации патента: 1398484

Вид документа: 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 4080050 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: C30B023/02   C30B029/36    
Аналоги изобретения: Константинов А.О. и др. Редкие структурносовершенные карбидкремниевые p-n переходы. Письма в ЖТФ, 1981, т.7, N 21, 1335-1339. 

Имя заявителя: Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе 
Изобретатели: Водаков Ю.А.
Мохов Е.Н.
Рамм М.Г.
Роенков А.Д. 
Патентообладатели: Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе 

Реферат


Изобретение относится к области полупроводниковой технологии и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов на основе карбида кремния, таких как силовые вентили, лавиннопролетные диоды, силовые транзисторы. Цель изобретения - повышение морфологического и структурного совершенства слоев. Способ включает конденсацию паров источника карбида кремния на подложку карбида кремния с одной или несколькими выступающими площадками высотой 5-200 мкм, площадью 0,01-1,0 мм2 в инертной атмосфере при 1800-2400°С. Процесс проводят в течение не менее 40 мин при воздействии двух температурных градиентов, направленных перпендикулярно (осевой градиент) и параллельно (радиальный градиент) поверхности подложки. Радиальный температурный градиент выбирают равным 10-50 град/см, скорость роста слоев не более 100 мкм/ч. Получены слои с зеркально-гладкой поверхностью, имеющие высоту неровностей менее 10-3 мкм, плотность дислокаций 10-100 см-2 . 1 ил.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"