|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИНТЕРФЕРОМЕТР С ОБРАТНОКРУГОВЫМ ХОДОМ ЛУЧЕЙ |  |
Номер публикации патента: 1383969 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01B009/02 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 786471, кл. G 01 B 9/02, 1979. |
| Имя заявителя: | | | Изобретатели: | Серегин А.Г.
Духопел И.И.
Долик И.В.
Жданова Л.А.
Ефимов В.К.
Ельницкая Л.С.
Константиновская Н.В.
Тульева Т.Н.
Сидоров В.И.
Фе |
Реферат | |
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности для контроля правильности формы вогнутых сферических и асферических (с небольшим отступлением от сферы) поверхностей оптических деталей. Цель изобретения - повышение точности и производительности контроля. Это достигается за счет автоматизации контроля на основе оптического гетеродинирования. Двухчастотный лазерный источник 1 и коллиматорный объектив 2 дают коллимированный пучок лучей. Призма-куб 3 с поляризованным светоделительным слоем разделяет пучок на два - рабочий и опорный. В результате обратнокругового хода лучей рабочий и опорный пучки с минимальными потерями поступают в наблюдательную систему, где фотоприеминк 14, привод которого соединен с двунаправленной шиной 19, сканирует поле интерфенцией в плоскости, сопряженной проекционной системой (положительные элементы 7, 9 и отрицательный 10) с контролируемой поверхностью 20. На выходе фотоприемника 14 снимается сигнал, фаза которого меняется по отношению к фазе опорного сигнала, снимаемого с фотоприемника 15. Светочувствительная поверхность фотоприемника 15 сопряжена со светочувствительной поверхностью фотоприемника 14. Сравнение рабочего и опорного сигналов осуществляется блоком 16 измерения разности фаз. Обработка данных и общее управление работой сканирующего фотоприемника 14 и блока 16 разности фаз осуществляется контроллером 17. При этом он производит вычисление топографии контролируемой поверхности на экране дисплея 18 по разности фаз. Обмен информацией между блоком 16, сканирующим фотоприемником 14, контроллером 17 и дисплеем производится по шине 19. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента