Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗОЛЯЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Номер публикации патента: 1340500

Вид документа: A1 
Страна публикации: SU 
Рег. номер заявки: 4041096 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01L021/76    
Аналоги изобретения: Патент США N 3648125, кл. 317-235, 1969. Патент США N 4104086, кл. 148-15, 1979. 

Имя заявителя:  
Изобретатели: Даниелян В.С.
Евдокимов В.Л.
Зайдлин Г.М.
Манжа Н.М.
Фишель  

Реферат


Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии изготовления изоляции элементов сверхбольших интегральных схем. Цель - упрощение технологии изготовления изоляции элементов за счет снижения требований к профилю канавок и повышение выхода годных интегральных схем путем устранения пустот в канавках. Согласно изобретению, заполнение канавок двуокисью кремния производят пиролизом тетраметоксисилана при давлении в реакторе 133 - 266 Па. При этом температуру подложек поддерживают в диапазоне 800 - 880oС. Устранение пустот снижает технологические требования к профилю канавок и повышает выход годных. 4 ил., 1 табл.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"