|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ АНИЗОТРОПНОГО ТРАВЛЕНИЯ МЕЗОСТРУКТУР |  |
Номер публикации патента: 1266402 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/306 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 3728179, кл. 156 - 8, 1973. Авторское свидетельство СССР N 795326, кл. H 01 L 21/31, 1978. |
| Имя заявителя: | | | Изобретатели: | Брюхно Н.А. |
Реферат | |
Способ анизотропного травления мезоструктур, включающий формирование на поверхности кремниевой пластины с ориентацией рабочей поверхности в плоскости [100] прямоугольных участков маски, стороны которых ориентированы в направлениях [110] , формирование в углах прямоугольных участков корректирующих фигур, анизотропное травление кремния в местах пластины, свободных от маски, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности процесса за счет уменьшения размеров разделительных канавок, формирование прямоугольных участков маски и травление кремния проводят вначале вдоль одного из направлений [110], затем осуществляют маскирующее окисление полученной поверхности и проводят формирование прямоугольных участков маски и травление кремния вдоль второго направления [110], а корректирующие фигуры формируют в виде отрезков прямых, проходящих от вершины прямоугольных участков маски под углом 45o к направлению [110] до пересечения со смежной корректирующей фигурой.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента