На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ СТРУКТУРЫ | |
Номер публикации патента: 2329622 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H05K003/14 H05K003/46 | Аналоги изобретения: | DE 1521153 А1, 07.08.1969. RU 2287875 С2, 23.07.2004. SU 362356 А, 30.01.1973. US 5770988 А, 23.06.1998. |
Имя заявителя: | Новосибирский государственный технический университет (RU) | Изобретатели: | Борыняк Леонид Александрович (RU) Непочатов Юрий Кондратьевич (RU) | Патентообладатели: | Новосибирский государственный технический университет (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области электронной техники, в частности к способам изготовления гибридных интегральных схем, и может быть использовано при формировании многослойных металлизационных структур. Сущность способа заключается в нанесении на подложку материала адгезионного слоя путем напыления в среде кислорода и последующего нанесения в вакууме материала проводящего слоя и слоя из материала, обладающего способностью к пайке низкотемпературными припоями, при этом напыление материала адгезионно
|