На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ ПРИВОДИМАЯ В ДЕЙСТВИЕ ЗЕРКАЛЬНАЯ МАТРИЦА ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ОПТИЧЕСКОЙ ПРОЕКЦИОННОЙ СИСТЕМЕ И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 2141175

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  96112195		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к матрице из M·N тонкопленочных приводимых в действие зеркал для использования в оптической проекционной системе и к способам ее изготовления. Техническим результатом является упрощение способа изготовления, повышение воспроизводимости и надежности. Эта матрица содержит активную матрицу, матрицу из M·N тонкопленочных приводных структур, где каждая из тонкопленочных приводных структур включает по меньшей мере один тонкопленочный слой индуцирующего перемещение материала, пару электродов, размещенных на верхней и нижней поверхностях тонкопленочного индуцирующего перемещение слоя, матрицу из M·N поддерживающих элементов, где каждый из поддерживающих элементов используется для фиксации каждой из приводных структур, матрицу из M·N промежуточных элементов, где каждый из промежуточных элементов устанавливается на верхней поверхности каждой из приводных структур, матрицу M·N зеркальных слоев для отражения световых лучей, где каждый из зеркальных слоев крепится на каждом из промежуточных элементов. Электрический сигнал прикладывается к электродам тонкопленочного индуцирующего перемещение слоя, вызывая его деформацию, которая в свою очередь отклоняет зеркальный слой, закрепленный на промежуточном элементе. 3 c. и 34 з.п.ф-лы, 10 ил.

Вернуться к списку