На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МАНИПУЛЯТОР ДЛЯ ТУННЕЛЬНОГО МИКРОСКОПА | |
Номер публикации патента: 2061295 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H02N002/02 H01L041/09 | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 1434389, кл. G 02B 1/00, 1988. 2. Европейская заявка N 0071666, кл. H 01L 41/08, 1987. 3. Wu, K.-W.Ng, A pieroelectric-driven micropositioner with magnetic locking mechanism, Rev.Sci.Instrum., vol.62(1991), N 1, 93-95. |
Имя заявителя: | Московский институт электронной техники | Изобретатели: | Бессольцев В.А. | Патентообладатели: | Московский институт электронной техники Бессольцев Владимир Алексееви |
Реферат | |
Использование: в точной механике, в частности в конструкциях устройств для перемещения объектов. Пьезоэлектрический манипулятор с магнитной фиксацией опор содержит четыре электромагнита, соединенные попарно, размещенные над ними пьезоэлементы, предметный столик и опоры. Опоры, поддерживающие предметный столик, жестко соединены с основанием и размещены внутри обмотки электомагнитов. Пьезоэлементы закреплены между соседними опорами. Основание, опоры и предметный столик выполнены из ферромагнитного материала с остаточной магнитной индукцией. Опора может быть выполнена за одно целое с основанием и снабжена отверстием, внутри которого установлен изолированный контактный ввод со сферической поверхностью для подвода напряжения к предметному столику. Предметный столик может быть выполнен в виде трех скрепленных пластин, причем верхняя пластина изолирована от двух параллельно расположенных в горизонтальной плоскости и изолированных между собой пластин, установленных на соответствующие пары опор. 2 з. п. ф-лы, 6 ил.
|