WO 2007049347 A1, 03.05.2007. JP 9102625 A, 15.04.1997. RU 2250536 C1, 20.04.2005.
Имя заявителя:
СОЛВЕЙ ФЛУОР ГМБХ (DE)
Изобретатели:
РИВА Марчелло (DE)
Патентообладатели:
СОЛВЕЙ ФЛУОР ГМБХ (DE)
Приоритетные данные:
23.01.2008 US 61/022,958
Реферат
Солнечные элементы изготавливают из слитков монокристаллического или поликристаллического кремния с легированием Р-типа, отрезанием пластин и проведением легирования N-типа. Согласно изобретению предложен способ изготовления солнечного элемента в условиях плазменной обработки из кремниевой пластины или кремниевой пластины с легированием р-типа, с нанесением покрытия с легированием n-типа, включающий стадию травления паразитного эмиттера на тыльной стороне солнечного элемента, фотомаски солнечных элементов со структурой PERL; пластин, имеющих фосфорсодержащее стекловидное покрытие, или травления пластин для модификации поверхности, включая тыльную сторону, или для исправления кремниевых пластин, которые имеют трещины, травильным газом, включающим неразбавленный карбонилфторид, неразбавленный фтор или смеси фтора с азотом, смеси фтора с аргоном, смеси фтора с азотом и аргоном, смеси карбонилфторида с кислородом, смеси карбонилфторида с инертным газом, выбранным из азота, гелия и аргона, или смеси карбонилфторида с кислородом и инертным газом, выбранным из азота, гелия и аргона. Также согласно изобретению предложены солнечный элемент изготовленным описанным выше способом и способ изготовления индикаторных плоскопанельных дисплеев. Изобретение обеспечивает отсутствие парникового эффекта, т.е. не происходит разрушение озонового слоя. 3 н. и 10 з.п. ф-лы, 6 пр., 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента