|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2178601 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L031/09 | | Аналоги изобретения: | М. BADILA et al. Lift-Off technology for SiC UV detectors, Diamond and related materials, 2000, N9, р. 994-997. RU 2155418 С1, 27.08.2000. US 5093576, 03.03.1992. JP 7094773 А, 04.07.1995. US 5581087 А, 12.03.1996. SU 1806425 А3, 30.03.1993. |
| Имя заявителя: | Центр технологий микроэлектроники | | Изобретатели: | Афанасьев А.В.
Ильин В.А.
Петров А.А. | | Патентообладатели: | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет
Центр технологий микроэлектроники |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике. Технический результат - селективное детектирование УФИ в диапазоне от 280 до 340 нм. Сущность: в конструкцию полупроводникового датчика УФИ, содержащего подложку, выполненную из монокристаллического карбида кремния n+-типа проводимости с эпитаксиальным n-слоем, омический электрод, соединенный с n+-областью подложки, электроизоляционное покрытие, нанесенное на n-слой подложки со стороны принимаемого светового излучения, выпрямляющий электрод, соединенный с образованием контакта Шотки с n-слоем подложки через окно, выполненное в электроизоляционном покрытии, и выводной контакт, присоединенный к выпрямляющему электроду для подключения к внешней электрической цепи и подачи напряжения смещения между омическим и выпрямляющим электродами, внесены следующие изменения: выпрямляющий электрод выполнен из тугоплавкого переходного металла, имеющего температуру плавления не ниже 1877oС, на поверхность выпрямляющего электрода со стороны принимаемого светового излучения нанесен серебряный светофильтр толщиной от 8 до 15 нм, толщина выпрямляющего электрода составляет от 4 до 10 нм, соединение выпрямляющего электрода с n-слоем подложки выполнено через переходный слой карбида металла, из которого изготовлен выпрямляющий электрод толщиной от 1 до 7 нм. 1 з. п. ф-лы, 4 ил. , 2 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента