На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ СО СПЛАВНЫМИ АЛЮМИНИЕВЫМИ КОНТАКТАМИ

Номер публикации патента: 1708115

Вид документа:  C  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  4713627		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к технологии изготовления кремниевых фотопреобразователей, прозрачных в ИК-области, и решает техническую задачу создания надежной двусторонней контактной сетки. Цель изобретения - повышение качества фотопреобразователя при упрощении технологии изготовления. P-n-переход формируют из слоя стекла, содержащего примесь легирующего элемента, который наносится на подложку из растворов фосфор- или борсодержащей композиции. Процесс диффузии бора и фосфора проводят одновременно при 1223-1253 К в течение 1,8·10³-2,7·10³ с . Формирование лицевой и тыльной контактных сеток осуществляют одновременно путем вскрытия в боросиликатном и фосфоросиликатном стекле окон, приведение обеих сторон подложки в контакт с жидким алюминием - при 923-1123 К в течение 0,1-1,5 с и охлаждение - со скоростью 3-10 К/мин. Затем на тыльную сторону подложки напыляют слой лития толщиной 0,5-1,5 мкм и проводят его диффузионную разгонку при 593-653 К в течение 1,8·10³-2,4·10³ с . От аналогичных решений способ отличается повышенной адгезией контактов, малой площадью затенения поверхности контактной сетки, повышенной радиационной стойкостью фотопреобразователей и простотой технологии. 1 ил.

Вернуться к списку