На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДОВ С БОЛЬШИМ КОЭФФИЦИЕНТОМ ФОРМЫ | |
Номер публикации патента: 2271591 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L029/41 | Аналоги изобретения: | RU 2017186 C1, 30.07.1994. SU 533996 A, 30.10.1976. SU 1187656 A1, 15.07.1997. SU 1581150 A1, 15.09.1994. US 5017515 A, 21.05.1991. EP 0685832 A1, 06.12.1995. US 4952031 A, 28.08.1990. |
Имя заявителя: | ТИН ФИЛМ ЭЛЕКТРОНИКС АСА (NO) | Изобретатели: | ГУДЕСЕН Ханс Гуде (BE) | Патентообладатели: | ТИН ФИЛМ ЭЛЕКТРОНИКС АСА (NO) |
Реферат | |
Изобретение относится к электротехнике, в частности к способу изготовления электродов для электродной решетки. Согласно способу изготовления электродов с большим коэффициентом формы для электродной решетки, содержащей параллельные электроды с высокой плотностью расположения, электроды формируют путем многократного выполнения последовательности технологических операций, предусматривающей использование одной и той же фотомаски на каждой операции профилирования.
|