|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОУРОВНЕВЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МИКРОСХЕМ |  |
Номер публикации патента: 2264676 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L025/16 | | Аналоги изобретения: | SU 1816170 A1, 20.05.1995. RU 2040131 C1, 20.07.1995. RU 2017353 C1, 30.07.1994. US 5950102 A, 07.09.1999. US 4508749 А, 02.04.1985. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Нижегородский научно-исследовательский институт радиотехники" (RU) | | Изобретатели: | Штурмин А.А. (RU)
Трудников В.Г. (RU)
Караулов М.Б. (RU)
Челноков А.Б. (RU) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Нижегородский научно-исследовательский институт радиотехники" (RU) |
Реферат | |
Использование: в области микроэлектроники при изготовлении многослойных структур на подложках из различных материалов, а именно, многоуровневых тонкопленочных интегральных микросхем с многоуровневой коммутацией. Технический результат - упрощение техпроцесса и повышение производительности изготовления многоуровневых тонкопленочных микросхем, повышение степени их интеграции и эффективности использования проводникового слоя, расширение ассортимента изделий за счет обеспечения работоспособности предл
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента