|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КВАЗИОДНОМЕРНЫХ ПРОВОДЯЩИХ НИТЕЙ |  |
Номер публикации патента: 94037400 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94037400 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Бугаев А.С. | | Изобретатели: | Бугаев А.С.
Ливотова Н.П.
Сеничкин А. |
Реферат | |
Изобретение относится к полупроводниковой микроэлектронике и может быть использовано, в частности, для создания полупроводниковых приборов СВЧ-диапазона. Технический результат - повышение подвижности основных носителей тока в структуре, содержащей квазиодномерные проводящие нити, за счет подавления примесного рассеяния. Согласно способу, на ступенчатую поверхность полупроводникового кристалла осаждают слой другого полупроводника, в котором формируют цепочки атомов электрически активной примеси, причем полупроводниковую гетеропару подбирают таким образом, чтобы разность работ выхода обеспечивала пространственное разделение каналов основных носителей тока и ионов примеси.
|
Поиск патентов