На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛАСТИНЫ | |
Номер публикации патента: 94030214 | |
Вид документа: | A1 | Страна публикации: | RU | Рег. номер заявки: | 94030214 |
|
|
|
Имя заявителя: | Файфер В.Н. | Изобретатели: | Файфер В.Н. Дюков В.Г. Правдивцев А. |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерений электрофизических параметров полупроводниковых пластин и структур при производстве интегральных микросхем и может быть использовано для оптимизации технологических процессов. Сущность способа: освещают локальную область поверхности пластины модулированным монохроматическим излучением на разных длинах волн и измеряют сигналы фото-ЭДС. Выбирают потоки из анализа зависимости фото-ЭДС от них и измеряют потоки. Освещают симметричную область на обратной стороне пластины модулированным монохроматическим излучением на разных длинах волн и измеряют сигналы фото-ЭДС на исходной стороне пластины. Выбирают потоки из анализа зависимости фото-ЭДС на этой стороне от них и измеряют эти потоки. Искомые значения определяют расчетным путем с использованием соответствующих коэффициентов поглощения. Устройство содержит предметный столик с отверстием, два перестраиваемых по длине волны источника монохроматического, регулируемого и модулированного по интенсивности излучения, два оптических элемента формирования пространственно-ограниченного потока, расположенных по разные стороны от плоскости столика и оптически связанных через оптическую систему передачи излучения с источниками, датчик фото-ЭДС с электродом емкостной связи, расположенным между одним из оптических элементов к плоскости столика, фотоприемник, оптически связанный с двумя источниками и блок регистрации и управления, вход которого связан с датчиком фото-ЭДС, а выход с источниками излучения. 2 н. и 27 з.п. ф-лы, 1 ил.
|