СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ШТАБЕЛЕЙ ЛЕГИРУЕМЫХ С ОДНОЙ СТОРОНЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, В ЧАСТНОСТИ СОЛНЕЧНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, И СИСТЕМА МАНИПУЛИРОВАНИЯ ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ЛОДОЧКИ ПАРТИЯМИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН
RU 2034362 C1, 30.04.1995. SU 1780133 A1, 07.12.1992. DE 102004039787 A1, 23.02.2006. JP 2001093959 A, 06.04.2001. US 5501568 A, 26.03.1996. JP 7307319 А, 21.11.1995. US 5100287 А, 31.03.1992. US 4856957 А, 15.08.1989. US 4840530 А, 20.06.1989. JP 63084043 А, 14.04.1988.
Имя заявителя:
ЙОНАС УНД РЕДМАНН АУТОМАЦИОНСТЕХНИК ГМБХ (DE)
Изобретатели:
ЙОНАС Штефан (DE) РЕДМАНН Лутц (DE)
Патентообладатели:
ЙОНАС УНД РЕДМАНН АУТОМАЦИОНСТЕХНИК ГМБХ (DE)
Приоритетные данные:
24.11.2006 EP 06077093.0
Реферат
Предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в транспортировочный держатель. Половину пластин в виде первого штабеля переносят из транспортировочного держателя в позицию готовности, находящуюся за его пределами. Другую половину пластин в виде второго штабеля выводят из транспортировочного держателя. Второй штабель поворачивают таким образом, что полупроводниковые пластины второго штабеля оказываются в повернутом на 180° положении относительно положения полупроводниковых пластин первого штабеля. Второй штабель полупроводниковых пластин переносят к позиции первого штабеля полупроводниковых пластин, ориентируют относительно него и объединяют с первым штабелем полупроводниковых пластин, прикладывая нелегируемые стороны согласованных друг с другом первого и второго штабелей полупроводниковых пластин друг к другу. В качестве транспортирующего устройства для штабелей используют модуль с вакуумным захватом с захватными гребенками и центрирующим устройством. Увеличивается плотность упаковки в технологической лодочке и повышается производительность диффузионного процесса. 3 н. и 3 з.п. ф-лы, 12 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента