RU 2357322 C1, 27.05.2009. RU 2018190 C1, 15.08.1994. RU 60270 U1, 10.01.2007. SU 1190871 A1, 15.07.1993. SU 1018180 A, 15.05.1983. FR 2248764 A, 16.05.1975.
Имя заявителя:
Взнуздаев Евгений Александрович (RU), Ершова Елена Федоровна (RU), Зырянова Светлана Григорьевна (RU), Колесников Вячеслав Алексеевич (RU), Корнеева Галина Ильинична (RU), Корнеева Ольга Николаевна (RU), Кислякова Марина Александровна (RU), Липина Татьяна Владимировна (RU)
Изобретатели:
Взнуздаев Евгений Александрович (RU) Ершова Елена Федоровна (RU) Зырянова Светлана Григорьевна (RU) Колесников Вячеслав Алексеевич (RU) Корнеева Галина Ильинична (RU) Корнеева Ольга Николаевна (RU) Кислякова Марина Александровна (RU) Липина Татьяна Владимировна (RU)
Патентообладатели:
Взнуздаев Евгений Александрович (RU) Ершова Елена Федоровна (RU) Зырянова Светлана Григорьевна (RU) Колесников Вячеслав Алексеевич (RU) Корнеева Галина Ильинична (RU) Корнеева Ольга Николаевна (RU) Кислякова Марина Александровна (RU) Липина Татьяна Владимировна (RU)
Реферат
Изобретение относится к устройствам для удержания полупроводниковых пластин во время транспортировки в процессе изготовления. Сущность изобретения: кассета для групповой транспортировки полупроводниковых пластин выполнена из четырех фторопластовых стержней, два боковых стержня размещены по бокам располагаемых в кассете полупроводниковых пластин и один нижний стержень, выполняющий роль дна кассеты, размещен внизу располагаемых в кассете полупроводниковых пластин, боковые стержни размещены так, что их продольные оси и центры обрабатываемых в кассете пластин находятся в одной плоскости, пазы в стержнях совмещены таким образом, что обеспечивают размещение каждой обрабатываемой пластины в вертикальной плоскости, перпендикулярной продольным осям стержней, пазы в обоих боковых стержнях имеют П-образную форму, крепления с торцов стержней выполнены с возможностью закрепления в них, после размещения в кассете полупроводниковых пластин, четвертого стержня, выполняющего роль крышки, при этом четвертый стержень также выполнен с пазами, совмещенными с пазами в боковых и нижнем стержнях, форма пазов в четвертом стержне является зеркальным отражением формы паза в нижнем стержне для обеспечения фиксации пластин в процессе транспортировки. Изобретение обеспечивает исключение потерь пластин при транспортировке за счет исключения залипания пластин в пазах после высокотемпературных операций, а также при перегрузке пластин.
Поиск патентов
Получить полное описание патента