На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАНОСЕНСОРА |  |
Номер публикации патента: 2359359 |  |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/308 B82B003/00 | Аналоги изобретения: | ERIC STERN at al. Label-free immunodetection with CMOS-compatible semiconducting nanowires. Nature, v.445, |
Имя заявителя: | Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук (RU) | Изобретатели: | Настаушев Юрий Владимирович (RU) Наумова Ольга Викторовна (RU) Девятова Светлана Федоровна (RU) Попов Владимир Павлович (RU) | Патентообладатели: | Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук (RU) |
Реферат |  |
Изобретение относится к микро- и наноэлектронике и может быть использовано в производстве интегральных кремниевых химических и биосенсоров для автоматизированного контроля окружающей среды, в экологии, в химическом производстве, в биологии и медицине. Изобретение направлено на снижение размеров наносенсора, снижение дефектности, повышение чувствительности, воспроизводимости и эффективности, достижение совместимости со стандартной промышленной технологией СБИС.
|