|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАССЕТА ДЛЯ ГРУППОВОЙ ДИФФУЗИОННОЙ ОБРАБОТКИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН |  |
Номер публикации патента: 2357319 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/22 | | Аналоги изобретения: | FR 2248764 А, 16.05.1975. RU 2018190 С1, 15.08.1994. SU 1029270 А, 15.07.1983. SU 1318618 А1, 23.06.1986. US 4653636 А, 31.03.1987. ЕР 0100539 А2, 15.02.1984. |
| Имя заявителя: | Скорова Галина Валериановна (RU),Взнуздаева Татьяна Кузьминична (RU),Комарова Татьяна Ильинична (RU),Каретникова Ольга Ивановна (RU) | | Изобретатели: | Скорова Галина Валериановна (RU)
Взнуздаева Татьяна Кузьминична (RU)
Комарова Татьяна Ильинична (RU)
Каретникова Ольга Ивановна (RU) | | Патентообладатели: | Скорова Галина Валериановна (RU)
Взнуздаева Татьяна Кузьминична (RU)
Комарова Татьяна Ильинична (RU)
Каретникова Ольга Ивановна (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время диффузионной термообработки при изготовлении полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: кассета для групповой диффузионной обработки кремниевых пластин выполнена из трех поликремневых стержней, два боковых стержня размещены по бокам обрабатываемых в кассете кремниевых пластин, и один нижний стержень, выполняющий роль дна кассеты, размещен внизу обрабатываемых в кассете кремниевых пластин, боковые
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента