На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПОЛИРОВАЛЬНАЯ СУСПЕНЗИЯ И СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ КЕРАМИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ | |
Номер публикации патента: 2354675 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C09G001/02 C09K003/14 H01L021/321 | Аналоги изобретения: | US 2004/157535 A1, 12.08.2004. SU 907046 A1, 23.02.1982. RU 2001132541 A, 20.09.2003. RU 2082738 C1, 27.06.1997. RU 2162423 C2, 10.05.2001. SU 1517244 C, 09.02.1995. WO 02/100963 A, 19.12.2002. US 2003/092271 A1, 15.05.2003. KR 20010062348 A, 07.07.2001. WO 2004/076126 A1, 10.09.2004. GB 1454895 A, 03.11.1976. |
Имя заявителя: | СЭНТ-ГОБЭН КЕРАМИКС ЕНД ПЛАСТИКС, ИНК. (US) | Изобретатели: | ЛАКОНТО Роналд В. (US) ХЭРЛЕ Эндрю Г. (US) | Патентообладатели: | СЭНТ-ГОБЭН КЕРАМИКС ЕНД ПЛАСТИКС ИНК. (US) |
Реферат | |
Группа изобретений относится к полировальным суспензиям и способам их применения. Полировальная суспензия содержит жидкую среду и абразив в виде частиц, включающих мягкие абразивные частицы, твердые абразивные частицы и коллоидные частицы двуокиси кремния, при этом мягкие абразивные частицы имеют твердость по Моосу не более 8, твердые абразивные частицы имеют твердость по Моосу не менее 8, мягкие абразивные частицы и твердые абразивные частицы содержатся в весовом отношении не менее 2:1, и суспен
|