|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПРЕДЭПИТАКСИАЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛИРОВАННЫХ ПОДЛОЖЕК ИЗ КАРБИДА КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2345443 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/324 | | Аналоги изобретения: | Никифорова-Денисова С.Н. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники, кн.4, Механическая и химическая обработка. - М.: Высшая школа, 1989, с.3-24. RU 2162117 С2, 20.01.2001. US 5225032 А, 06.07.1993. WO 2004/088734 A1, 14.10.2004. ЕР 0964435 A1, 15.12.1999. JP 60027699 A, 12.02.1985. |
| Имя заявителя: | Институт кристаллографии имени А.В. Шубникова Российской академии наук (RU) | | Изобретатели: | Каневский Владимир Михайлович (RU)
Тихонов Евгений Олегович (RU)
Дерябин Александр Николаевич (RU) | | Патентообладатели: | Институт кристаллографии имени А.В. Шубникова Российской академии наук (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к полупроводниковой технике. Сущность изобретения - в способе предэпитаксиальной обработки полированных подложек из карбида кремния, включающем последовательно выполняемые следующие операции: калибрование монокристалла, изготовление базового среза, резку монокристалла на пластины, шлифовку пластин, изготовление фаски по кромке каждой пластины, полировку пластин, химическую и гидромеханическую отмывку поверхности пластин с сушкой центрифугованием и вакуумную упаковку пластин,
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента