|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТАНОВКА ДЛЯ ДВУХСТОРОННЕЙ ВЕРТИКАЛЬНОЙ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ КРУГЛЫХ ПЛАСТИН ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ОПТИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ |  |
Номер публикации патента: 2327247 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/08 | | Аналоги изобретения: | RU 2275972 C1, 10.05.2006. RU 37952 U1, 20.05.2004. SU 1496842 A1, 30.07.1989. US 5974680 А, 02.11.1999. US 6345404 B1, 12.02.2002. US 6941957 B2, 13.09.2005. WO 01/82339 А2, 01.11.2001. EP 0768704 А2, 16.04.1997. JP 10189528 A, 21.07.1998. |
| Имя заявителя: | Институт кристаллографии имени А.В. Шубникова Российской академии наук (RU), 119333, Москва, ул. Ленинский проспект, 59 | | Изобретатели: | Каневский Владимир Михайлович (RU)
Тихонов Евгений Олегович (RU)
Дерябин Александр Николаевич (RU) | | Патентообладатели: | Институт кристаллографии имени А.В. Шубникова Российской академии наук (RU)
119333
Москва
ул. Ленинский проспект
59 |
Реферат | |
Изобретение относится к области производства пластин. Сущность изобретения: установка для двухсторонней вертикальной очистки поверхности круглых пластин полупроводниковых и оптических материалов содержит чистящие элементы, размещаемые по обеим сторонам обрабатываемой пластины, устройства для подачи моющего раствора на обе стороны обрабатываемой пластины, опорно-направляющий механизм для поддержки обрабатываемой пластины и приводной механизм для чистящих элементов.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента