Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


КОМПОЗИЦИЯ И СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ОСТАТОЧНЫХ ПОЛИМЕРОВ С АЛЮМИНИЙСОДЕРЖАЩИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Номер публикации патента: 2313155

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2005101613/28 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01L021/3213    
Аналоги изобретения: EP 0811666 А, 10.12.1997. US 6273959 В1, 14.08.2001. WO 97/36209 A1, 02.10.1997. RU 2139593 C1, 10.10.1999. 

Имя заявителя: БАСФ Акциенгезельшафт (DE) 
Изобретатели: МЕЛЛИС Раймунд (DE)
БЁРНЕР Марк (DE)
АРНОЛЬД Луция (DE)
БАРКО Андреа (DE)
РАЙН Рудольф (DE) 
Патентообладатели: БАСФ Акциенгезельшафт (DE) 

Реферат


Изобретение относится к композиции для удаления так называемых "отложений на стенках" с металлических поверхностей, в особенности с алюминия или алюминийсодержащих поверхностей, в частности в процессе производства полупроводниковых элементов. Сущность изобретения: композиция для удаления остаточных полимеров с алюминийсодержащих поверхностей включает H2SiF6 и/или HBF4 в общем количестве 0,001-0,05 мас.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"