|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УПРУГОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА |  |
Номер публикации патента: 2300823 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/308 | | Аналоги изобретения: | RU 2003122544 А, 10.01.2005. RU 2209489 С2, 27.07.2003. SU 1783596 А, 23.12.1992. ВАГАНОВ В.И. Интегральные тензопреобразователи. - М.: Энергоатомиздат, 1983, с.102. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "ТЕМП-АВИА" (ОАО АНПП "ТЕМП-АВИА") (RU) | | Изобретатели: | Былинкин Сергей Федорович (RU)
Миронов Сергей Геннадьевич (RU) | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "ТЕМП-АВИА" (ОАО АНПП "ТЕМП-АВИА") (RU) |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано в технологии изготовления упругих элементов подвеса чувствительных масс микромеханических измерительных устройств. Сущность изобретения: в способе изготовления упругого элемента микромеханического устройства окисляют плоскую пластину из монокристаллического кремния с ориентацией поверхности в плоскости (100), наносят на нее с двух сторон слой фоторезиста, предварительно вскрывают окна в слое фоторезиста при помощи двухсторонней фотолитографии, травят окисел по
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента