На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПЛЕНКА ГИДРИРОВАННОГО КРЕМНИЙ - ОКСИКАРБИДА (SICO:H) И СПОСОБ ЕЕ ПОЛУЧЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2264675 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/316 | Аналоги изобретения: | ЕР 0960958 А1, 01.12.1999. WO 99/41423 А, 10.02.1999. US 6147009 А, 14.11.2000. US 6077574 А, 20.06.2000. RU 2013819 C1, 30.05.1994. |
Имя заявителя: | ПОУСТЕК ФАУНДЕЙШН (KR) | Изобретатели: | РЕЕ Си-Воо (KR) КВАК Санг-Ки (KR) | Патентообладатели: | ПОУСТЕК ФАУНДЕЙШН (KR) |
Реферат | |
Использование: изобретение может быть использовано для получения плазменным химическим осаждением из паровой фазы пленки гидрированного кремний-оксикарбида (SiCO:H) с низкой диэлектрической постоянной. Сущность изобретения: способ получения пленки гидрированного кремний-оксикарбида (SiCO:H) предусматривает проведение химического осаждения из паровой фазы с использованием алкилсилана, содержащего по меньшей мере одну винильную или этинильную группу, вместе с плазмой O2-содержащего газа.
|