Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


ПЛЕНКА ГИДРИРОВАННОГО КРЕМНИЙ - ОКСИКАРБИДА (SICO:H) И СПОСОБ ЕЕ ПОЛУЧЕНИЯ

Номер публикации патента: 2264675

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2004102519/28 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01L021/316    
Аналоги изобретения: ЕР 0960958 А1, 01.12.1999. WO 99/41423 А, 10.02.1999. US 6147009 А, 14.11.2000. US 6077574 А, 20.06.2000. RU 2013819 C1, 30.05.1994. 

Имя заявителя: ПОУСТЕК ФАУНДЕЙШН (KR) 
Изобретатели: РЕЕ Си-Воо (KR)
КВАК Санг-Ки (KR) 
Патентообладатели: ПОУСТЕК ФАУНДЕЙШН (KR) 

Реферат


Использование: изобретение может быть использовано для получения плазменным химическим осаждением из паровой фазы пленки гидрированного кремний-оксикарбида (SiCO:H) с низкой диэлектрической постоянной. Сущность изобретения: способ получения пленки гидрированного кремний-оксикарбида (SiCO:H) предусматривает проведение химического осаждения из паровой фазы с использованием алкилсилана, содержащего по меньшей мере одну винильную или этинильную группу, вместе с плазмой O2-содержащего газа.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"