|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ЛЕГИРОВАНИЯ КРЕМНИЯ ФОСФОРОМ И ВЫРАЩИВАНИЯ ОКСИДА НА КРЕМНИИ В ПРИСУТСТВИИ ПАРА |  |
Номер публикации патента: 2262773 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/22 | | Аналоги изобретения: | US 4441247 А, 10.04.1984. US 4028150 А, 07.06.1977. US 3931056 А, 06.01.1976. RU 2111575 C1, 20.05.1998. RU 2094901 С1, 27.10.1997. |
| Имя заявителя: | ТЕКНЕГЛАС, ИНК. (US) | | Изобретатели: | РЭПП Джеймс Е. (US)
РОГЕНСКИ Расселл Б. (US) | | Патентообладатели: | ТЕКНЕГЛАС
ИНК. (US) |
Реферат | |
Использование: для легирования кремния фосфором с использованием твердого источника легирующего вещества. Сущность изобретения: способ легирования кремниевой пластины включает размещение кремниевой пластины в пространственном отношении к твердому источнику фосфорного легирующего вещества при первой температуре в течение времени, достаточного для осаждения фосфорсодержащего слоя на поверхности пластины, и последующее окисление легированной кремниевой пластины влажным кислородом или пирогенным паро
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента