|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ЗАЩИТЫ УГЛОВ ТРЕХМЕРНЫХ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СТРУКТУР НА КРЕМНИЕВОЙ ПЛАСТИНЕ ПРИ ГЛУБИННОМ АНИЗОТРОПНОМ ТРАВЛЕНИИ |  |
Номер публикации патента: 2220475 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/308 | | Аналоги изобретения: | US 5286343 А, 15.02.1994. ВАВИЛОВ В.Д. и др. Интегральные датчики давления. Конструкция и технология. - М.: Изд-во МАИ, 2001, с.29. RU 2059321 С1, 27.04.1996. RU 2076395 С1, 27.03.1997. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт авиационного оборудования | | Изобретатели: | Соколов Л.В.
Школьников В.М. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт авиационного оборудования |
Реферат | |
Изобретение относится к микромеханике, преимущественно к технологии изготовления микропрофилированных интегральных механоэлектрических тензопреобразователей, и может быть использовано при разработке и производстве интегральных датчиков механических величин или микроэлектромеханических систем, содержащих трехмерные кремниевые микроструктуры.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента