|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УПРУГОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА |  |
Номер публикации патента: 2209489 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/308 | | Аналоги изобретения: | Андреев А.А., Патрушева Н.Г. Разработка интегральных кремниевых микродатчиков за рубежом. Обзор по материалам зарубежной печати. - Издание ГОНТИ, 1991, с. 15-18. US 5286343 А, 15.02.1994. RU 2059321 С1, 27.04.1996. RU 2076395 С1, 27.03.1997. EP 0955668 А1, 10.11.1999. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "Темп-Авиа" | | Изобретатели: | Былинкин С.Ф.
Миронов С.Г. | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "Темп-Авиа" |
Реферат | |
Использование: для изготовления упругих элементов микромеханических акселерометров, используемых для подвеса их чувствительных масс. Техническим результатом изобретения является повышение прочности конструкции микромеханического устройства. Сущность изобретения: в способе изготовления упругого элемента микромеханического устройства при фотолитографическом нанесении рисунка на исходный кристалл на маске в местах сопряжения упругого элемента с рамкой и чувствительной массой выполняют маскирующие об
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента