|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УПРУГОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА |  |
Номер публикации патента: 2209487 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/22 | | Аналоги изобретения: | Вавилов В.Д. Интегральные акселерометры с силовой компенсацией. Радиоэлектронные и телекоммуникационные системы и устройства. Межвузовский сборник научных трудов. Вып. 4. - Н.Новгород, 1998, с. 88. SU 797454 А1, 15.01.1994. RU 2059321 С1, 27.04.1996. RU 2076395 С1, 27.03.1997. ЕР 0955668 А1, 10.11.1999. US 5804462 А, 08.09.1998. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "Темп-Авиа" | | Изобретатели: | Былинкин С.Ф.
Вавилов В.Д.
Миронов С.Г. | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "Темп-Авиа" |
Реферат | |
Использование: при изготовлении упругих элементов микромеханических датчиков. Техническим результатом изобретения является повышение качества изготавливаемых упругих элементов за счет повышения их прочности и повторяемости упругих характеристик. Сущность изобретения: согласно предложенному способу полученным размерным анизотропным травлением элементы из монокристаллического кремния легируют германием, что позволяет восстановить кристаллическую структуру материала, нарушенную после вытравливания п
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента