|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНКИ НА ПОДЛОЖКУ |  |
Номер публикации патента: 2185006 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/31 C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | БИКТАШЕВ А.А. и др. О влиянии параметров тлеющего разряда на процессы ионного распыления в магнетронных распылительных устройствах. В сб.: Физика газового разряда. - Казань, 1993, с.25-30. RU 2058429 C1, 20.04.1996. RU 1760776 C, 30.08.1994. JP 8181074 А, 12.07.1996. JP 11006062 А, 12.01.1999. |
| Имя заявителя: | Абдуллин Ильдар Шаукатович,Кашапов Наиль Фаикович | | Изобретатели: | Абдуллин И.Ш.
Кашапов Н.Ф. | | Патентообладатели: | Абдуллин Ильдар Шаукатович
Кашапов Наиль Фаикович |
Реферат | |
Изобретение относится к области создания новых материалов и придания уже используемым материалам новых свойств, а именно к способам получения направленной модификации поверхности. Технический результат изобретения заключается в обеспечении возможности отказаться от использования высоковакуумного оборудования и повышении адгезии нанесенных пленок.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента