|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ОСНОВЕ ПЛАТИНЫ |  |
Номер публикации патента: 2110112 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/033 | | Аналоги изобретения: | 1. Fendrok J.I., Hong L.M. JEEE Trans. Compon. Nybrids and Manuf. Technol., 1990, 13, N 2, p.376 - 382. 2. JP, заявка N 54-34901, кл. A 01 C 10/30, 1979. 3. US, Патент N 4952904, кл. H 01 L 21/10, 1990. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Смолин В.К.
Кондрашевский В.П. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Использование: электронная техника, в процессах формирования пленочных элементов микроэлектронных устройств. Сущность изобретения: при формировании пленочных элементов на основе платины производят нанесение на подложку с бескислородным диэлектрическим покрытием металлооксидного адгезионного слоя и слоя платины, фотолитографическое выполнение конфигурации элементов. Адгезионный слой наносят распылением титана в кислородсодержащей плазме, начиная при соотношении давлений PO2 / p = 0,3 - 0,4 и заканчивая при PO2 / p < 0,2, где PO2 - давление кислорода, p - общее давление смеси. После нанесения слоя платины производят отжиг в вакууме до восстановления диоксида платины до платины и низших окислов, а после формирования конфигурации элементов подложку подвергают отжигу в кислородсодержащей среде.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента