|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ЛЕГИРОВАНИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА |  |
Номер публикации патента: 2102816 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/22 | | Аналоги изобретения: | 1. Трабчак В.П. и др. Ускорение диффузии в полупроводниках при ионном облучении. - Электронная техника, серия 3. Микроэлектроника, вып.3(127), 1988, с.56-58. 2. Технология СБИС. /Под ред. С.Зи, т.1. - М., 1986, с.284. |
| Имя заявителя: | Запорожский государственный университет (UA) | | Изобретатели: | Горбань Александр Николаевич[UA]
Кравчина Виталий Викторович[UA] | | Патентообладатели: | Запорожский государственный университет (UA) |
Реферат | |
Использование: электронная техника, способы термического легирования твердых тел. Сущность изобретения: способ легирования твердого тела включает последовательное нанесение на поверхность полупроводниковой пластины маскирующих диэлектрических слоев, по крайней мере один из которых вызывает механические деформации в полупроводниковой пластине, создание маски фотолитографией, диффузию легирующей примеси с последующим отжигом. При создании маски проводят дополнительную фотолитографию, формируя участки маски с двумя различными комбинациями маскирующих диэлектрических слоев. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента