|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПЛАСТИН |  |
Номер публикации патента: 2098888 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/68 | | Аналоги изобретения: | JP, заявка, 1-58658, кл.H 01L 21/68, 1986. JP, заявка, 61-270843, кл.H 01L 21/68, 1986. |
| Имя заявителя: | Воронежская государственная технологическая академия | | Изобретатели: | Абрамов Г.В.
Битюков В.К.
Назина Л.И.
Попов Г.В. | | Патентообладатели: | Воронежская государственная технологическая академия |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов, а также в машиностроении. Сущность: устройство для ориентации пластин содержит столик с наклонными соплами для создания воздушной прослойки, ограничители, датчики конечного положения, причем ограничители выполнены в форме конического гнезда, а наклонные сопла равномерно расположены по окружности и поочередно наклонены в противоположные стороны. 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента