|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ |  |
Номер публикации патента: 2092930 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/205 H01L021/68 | | Аналоги изобретения: | Prospect firm SEMCO engineering s.a. Montpellier, Januarry 3rd, 1990, Description 2, A-Reactor system. P.M. Frijlink. K.Cristal Growth, 93(1988), p. 207 - 215. |
| Имя заявителя: | Залевский Игорь Дмитриевич | | Изобретатели: | Залевский И.Д.
Кириленко Н.И.
Коваленко М.В. | | Патентообладатели: | Залевский Игорь Дмитриевич |
Реферат | |
Использование: электронная техника, технология получения полупроводниковых приборов, а именно оборудование для МОС-гидридной эпитаксии. Сущность изобретения: в подложкодержателе, включающем плату для подложек в виде плоского круглого диска и станину с цилиндрической выемкой для помещения платы, со стороны выемки в основании станины выполнены канавки, соединенные с соответствующим отверстием в основании станины, канавки и отверстия расположены на равном расстоянии от центра выемки и друг от друга, каждая из канавок выполнена под прямым углом к радиусу станины, проведенному через центр отверстия, соединенного с соответствующей канавкой, данные канавки выполнены вплоть до боковых стенок станины со стороны выемки, между смежными боковыми стенками станины и платы дополнительно сформирована выборка, симметрично расположенная по окружности, осевая плоскость которой параллельна плоскости основания выемки, и расположена на расстоянии от основания выемки, выбранном менее половины высоты стенки выемки, причем при помещении платы в выемку края выборки расположены между плоскостями оснований платы. Предложены различные варианты конструкции подложкодержателя, которые отличаются выполнением выборок. 7 з.п. ф-лы, 1 табл. 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента