На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ | |
Номер публикации патента: 2061278 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01L021/28 | Аналоги изобретения: | Патент Японии N 59-31073, кл. H 01L 29/80, опублик. 1984. Самсоненко Б.Н. и др. Электрохимическое направление в технологии изготовления полевых транзисторов Шоттки. Электронная техника, сер.10, Микроэлектронные устройства, вып.3,4(93,94) с.48-50, 1992. |
Имя заявителя: | Самсоненко Борис Николаевич | Изобретатели: | Самсоненко Борис Николаевич Стрельцов Вадим Станиславович | Патентообладатели: | Самсоненко Борис Николаевич Стрельцов Вадим Станиславови |
Реферат | |
Использование: в полупроводниковой технике для изготовления полевых транзисторов Шоттки с грибообразным затвором. Сущность изобретения: барьерный слой затвора формируют методом "взрыва". Наращивают затвор осаждением из электролита металлов разделительного слоя и золота при интенсивном освещении пластины. Слои ванадия и никеля напыляют соответственно толщиной и .
|