|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПЛАЗМЕННОЙ ПОЛИМЕРИЗАЦИИ |  |
Номер публикации патента: 2046678 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B05D001/00 H01L021/285 C08J005/18 B29C035/08 | | Аналоги изобретения: | 1. Gangal S.A, Hori M., Horita S., Haffoori S. Plasma - polimeriged ebcxron beam resist prerared from mefkyl metacrylaxe using garious carrier gases. - Gnin solid films, 1987, vol 149, N 03, p. p. 341 - 350. |
| Имя заявителя: | Институт микроэлектроники РАН | | Изобретатели: | Савинский Н.Г.
Симаков Н.Н.
Федоров В.А. | | Патентообладатели: | Институт микроэлектроники РАН |
Реферат | |
Использование: при нанесении полимерных покрытий для повышения скорости осаждения полимера в зоне послесвечения плазмы, например, в микроэлектронике для осаждения резистивных, пассивирующих диэлектрических покрытий, в других областях техники. Сущность изобретения: по крайней мере один из компонентов полимеробразующего газа дополнительно вводят в зону свечения плазмы для его активации.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента