|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ КМОП - СТРУКТУР С ПОЛИКРЕМНИЕВЫМ ЗАТВОРОМ |  |
Номер публикации патента: 2038647 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/22 | | Аналоги изобретения: | 1. Заявка Великобритании /GB/ N 2153146, кл. H 01L 27/00, 1985. |
| Имя заявителя: | Акционерное общество "Минский часовой завод" (BY) | | Изобретатели: | Плащинский Геннадий Иосифович[BY]
Смирнов Александр Михайлович[BY]
Туманов Геннадий Михайлович[BY]
Михайлов Валерий Владимирович[BY]
Обухович Валерий Агатонович[BY] | | Патентообладатели: | Акционерное общество "Минский часовой завод" (BY) |
Реферат | |
Использование: микроэлектроника, способ формирования КМОП-структур с поликремниевым затвором. Сущность изобретения: в способе формирования КМОП-структур с поликремниевым затвором на полупроводниковой пластине первого типа проводимости формируют области второго типа проводимости, формируют окисный слой, затем проводят его селективное травление в областях каналов p- и n-канальных транзисторов и областях стоков и истоков p-канальных транзисторов, формируют подзатворный диэлектрик в вытравленных обл
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента