|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЛОЕВ N - ТИПА ПРОВОДИМОСТИ В ОБРАЗЦАХ Cd |  |
Номер публикации патента: 2035804 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/425 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент Великобритании N 1600599, кл. H 01L 21/265, 1981. |
| Имя заявителя: | Институт физики полупроводников СО РАН | | Изобретатели: | Рязанцев И.А.
Двуреченский А.В.
Талипов Н.Х.
Мищенко А.М. | | Патентообладатели: | Институт физики полупроводников СО РАН |
Реферат | |
Испоьзование: в технологии изготовления фотоприборов. Сущность изобретения: способ заключается в обработке поверхности образца из CdxHg1-xTe p-типа в плазме высокочастотного разряда ускоренными ионами с энергией 1 - 10 эВ и плотностью тока 4-8 мкА/см2. Затем проводят послойное травление образца, чередуя его с контролем свободных носителей на поверхности.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента