|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАССЕТА ДЛЯ ГРУППОВОЙ ДИФФУЗИОННОЙ ОБРАБОТКИ |  |
Номер публикации патента: 2018190 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/22 | | Аналоги изобретения: | 1. Заявка Японии 51-40421, кл. H 01L 21/22, 1976. |
| Имя заявителя: | Товарищество с ограниченной ответственностью "КМК" | | Изобретатели: | Кондрашов В.В.
Мурзин С.А.
Загрядский С.В. | | Патентообладатели: | Товарищество с ограниченной ответственностью "КМК" |
Реферат | |
Использование: микроэлектроника, конструкция кассеты для групповой диффузионной обработки полупроводниковых пластин. Сущность изобретения: кассета для групповой диффузионной обработки полупроводниковых пластин содержит основание, на внутренней поверхности которого продольно расположены ребра с пазами для размещения пластин, причем пазы в ребрах доходят до основания кассеты, а в основании кассеты под пазами выполнены углубления, размеры которых вдоль и поперек ребра не менее соответствующих размер
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента