На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ МЕЖСОЕДИНЕНИЙ В МАТРИЦЕ ТРЕХМЕРНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЭЛЕМЕНТОВ | |
Номер публикации патента: 2012090 | |
Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт физических проблем им.Ф.В.Лукина | Изобретатели: | Шокин А.Н. Ракитин В.В. Крылов Б.Г. | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт физических проблем им.Ф.В.Лукина |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при создании трехмерных матриц. Сущность: способ включает конформное нанесение на матрицу проводящего слоя такой толщины, что меньшие промежутки между столбами полностью смыкаются. При этом столбы формируют с утолщением у основания таким образом, что промежутки у основания столбов по второму направлению меньше, чем по первому, а нанесение проводящего слоя проводят в два этапа: сначала полностью заполняют меньшие про
|