|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ И КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ СЛОЕВ МИКРОСХЕМ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2006985 |  |
| Имя заявителя: | Акципетров Олег Андреевич,Гришачев Владимир Васильевич,Денисов Виктор Иванович | | Изобретатели: | Акципетров Олег Андреевич
Гришачев Владимир Васильевич
Денисов Виктор Иванович | | Патентообладатели: | Акципетров Олег Андреевич
Гришачев Владимир Васильевич
Денисов Виктор Иванович |
Реферат | |
Использование: в контрольно-измерительной технике, в частности в устройствах для измерения и контроля параметров пленок и микросхем в электронике, магнитооптике, оптоэлектронике, а также в производстве полупроводниковых, пленочных и гибридных микросхем. Сущность изобретения: для измерения параметров используют явление генерации второй гармоники (ВГ) при отражении лазерного излучения от контролируемой поверхности, обладающего высокой чувствительностью к кристаллографической структуре приповерхност
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента