Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


ПАРОГАЗОВАЯ СМЕСЬ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ВОЛЬФРАМА НА КРЕМНИЙ

Номер публикации патента: 1823712

Вид документа: A1 
Страна публикации: SU 
Рег. номер заявки: 4947374 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01L021/285    
Аналоги изобретения: Paulean P.Lami Renefics and Hechanism of Selective Tungstem Deposition by LPC.VD.J. Electrochemical Society, v.132, N 11, 1985, p.2779-2784. Патент США N 4794019, кл. B 05D 5/12, 1988. 

Имя заявителя: Научно-производственное объединение "Интеграл" 
Изобретатели: Турцевич А.С.
Красницкий В.Я.
Андреев П.Е.
Трубинова Т.Н.
Сасновский В.А.
Сарычев 

Реферат


Использование: технология селективного осаждения вольфрама, производство сверхбольших интегральных схем. Сущность изобретения: парогазовая смесь для осаждения вольфрама, включающая гексафторид вольфрама, дополнительно содержит гексафторид молибдена при следующем соотношении ингредиентов. об. %: гексафторид молибдена 0,5 - 20; гексафторид вольфрама - остальное. 1 табл.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"