|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР |  |
Номер публикации патента: 1814430 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/24 | | Аналоги изобретения: | Заявка Японии N 63-36566, кл. H 01L 29/72, 1988. Европейский патент N 0256397, кл. H 01L 21/74, 1987. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное объединение "Пульсар" | | Изобретатели: | Ногин В.М.
Мякиненков В.И.
Сопов О.В.
Саратовский Н.К.
Сейдман |
Реферат | |
Использование: микроэлектроника, технология изготовления полупроводниковых структур для снижения механических напряжений в структурах. Сущность изобретения: способ изготовления кремниевых полупроводниковых структур включает формирование на поверхности по крайней мере одной из двух кремниевых пластин слоя тугоплавкого металла, а на поверхности другой пластины слоя полупроводникового материала, размещение одной пластины на другой нанесенными слоями навстречу друг другу, проведение термообработки и утонение сформированной структуры. В качестве полупроводникового материала используют германий, причем толщина слоя составляет 0,03 - 0,20 мкм, а толщина слоя тугоплавкого металла не менее 0,05 мкм.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента