|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТВЕРДЫХ ПЛАНАРНЫХ ИСТОЧНИКОВ ДЛЯ ДИФФУЗИИ ФОСФОРА |  |
Номер публикации патента: 1591753 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/22 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 755085, кл. H 01L 21/22, 1980. |
| Имя заявителя: | Денисюк Владимир Антонович | | Изобретатели: | Денисюк Владимир Антонович | | Патентообладатели: | Денисюк Владимир Антонович |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии изготовления твердых планарных источников фосфора для диффузии. Целью изобретения является увеличение срока службы путем снижения выкрашивания частиц диффузанта из источников и повышения термомеханической стойкости источников. Данный способ состоит в том, что приготавливают смесь порошков метафосфата алюминия и кремния в количестве 15 - 40 мас.ч., загружают ее в реактор в среде азота, отжигают при 1000 - 1050°С 15 - 40 мин, измельчают вновь, добавляют к порошку поливиниловый спирт, наносят на обе стороны кремниевой пластины-носителя, сушат и спекают при 980 - 1040°С. 2 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента