|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПЛЕНКА ИЗ ПОЛИ ( |  |
Номер публикации патента: 2218364 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C08J005/18 C08G061/02 H01L021/76 H01L049/02 | | Аналоги изобретения: | WO 98/18570 A1, 07.05.1998. US 3830733 A, 20.08.1974. US 5879808 А, 09.03.1999. SU 1151546 А, 23.04.1995. RU 2002519 C1, 15.11.1993. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова" (RU),ХИТАЧИ, ЛТД. (JP) | | Изобретатели: | Кардаш И.Е. (RU)
Пебалк А.В. (RU)
Маилян К.А. (RU)
Чвалун С.Н. (RU)
ТАКАХАСИ Акио (JP)
САТСУ Юичи (JP)
НАКАЙ Харуказу (JP) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова" (RU)
ХИТАЧИ
ЛТД. (JP) |
Реферат | |
Изобретение относится к изолирующим пленкам, которые применяются в области электроники и электронных приборов, к процессу получения этих пленок и к полупроводниковому прибору, в котором эта пленка применяется. Пленку из поли(,,,-тетрафторпараксилилена) получают сублимацией октафторпарациклофана при 30-70oС и давлении 0,001-0,1 мм рт.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента