|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ГИБРИДНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА ГАЗОВОГО СЕНСОРА |  |
Номер публикации патента: 2137117 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01N027/16 H01L027/02 | | Аналоги изобретения: | FR 2625561 A, 27.07.89. DE 3743398 A1, 06.07.89. DE 4008150 A1, 19.09.91. DE 3844023 A1, 28.06.90. SU 1670556 A, 15.08.91. |
| Имя заявителя: | Самсунг Электроникс Ко., Лтд. (KR) | | Изобретатели: | Иовдальский В.А.(RU)
Олихов И.М.(RU)
Блейвас И.М.(RU)
Иполитов В.М.(RU) | | Патентообладатели: | Самсунг Электроникс Ко., Лтд. (KR)
Иовдальский Виктор Анатольевич (RU) | | Номер конвенционной заявки: | PCT/RU 96/00291 | | Страна приоритета: | WO |
Реферат | |
Использование: электронная техника, в миниатюрных измерительных преобразователях концентрации газа. Сущность изобретения: гибридная интегральная схема газового сенсора содержит подложку в виде периферийной части в форме кольца и центральной части в форме диска, соединенных тремя перемычками, расположенными под углом 120o и имеющими разветвления у периферийной части под углом 120o. На центральной части размещены газочувствительная пленка, пленочный нагреватель и пленочный электрод для измерения сопротивления газочувствительной пленки. Нагреватель и электрод электрически соединены вдоль перемычек с контактными площадками, расположенными на периферийной части. Толщина перемычек и центральной части имеет толщину 0,15 - 0,25 мм, а ширина перемычек - 0,05 - 0,15 мм. Техническим результатом изобретения является повышение селективности и технологичности газового сенсора. 2 з.п.ф-лы, 5 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента