|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 2102814 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/20 H01L049/02 H01L021/316 | | Аналоги изобретения: | 1. Технология тонких пленок. Справочник. /Под ред. Л. Майссела, Р.Глэнга. т.1. - М.: Сов.радио, 1977, с.664. 2. Ржанов А.В., Стенин С.И. Молекулярная эпитаксия: состояние вопроса, проблемы и перспективы развития. В кн. Рост полупроводниковых кристаллов и пленок, т.1. /Под ред. Л.Н. Александрова. - Новосибирск: Наука, 1984, с.5-11. |
| Имя заявителя: | Институт физики Дагестанского научного центра РАН | | Изобретатели: | Абдуев А.Х.
Камилов И.К. | | Патентообладатели: | Институт физики Дагестанского научного центра РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к области тонкопленочной технологии и предназначено для использования в микроэлектронике и интегральной оптике. Сущность: на поверхность образца наносят монослой амфифильных молекул (пленка Лэнгмюра-Блоджетт), в состав полярных головок которых входят химические элементы или соединения, пленку из которых требуется получить, затем термическим, оптическим или химическим воздействием удаляют гидрофобный углеводородный хвост амфифильной молекулы. Число монослоев в точности равно числу повторения указанной операции.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента