|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ТЕСТОВЫЙ ОБЪЕКТ ДЛЯ КАЛИБРОВКИ РАСТРОВЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ |  |
Номер публикации патента: 2207503 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B015/00 H01J037/285 | | Аналоги изобретения: | Измерительная техника, 2000, № 4, с.48-52. RU 2121131, 27.10.1998. US 5244518 А, 14.09.1993. EP 0677714 А1, 11.10.1995. US 5440386 А, 08.08.1995. |
| Имя заявителя: | Акционерное общество открытого типа НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" | | Изобретатели: | Волк Ч.П.
Горнев Е.С.
Новиков Ю.А.
Озерин Ю.В.
Плотников Ю.И.
Прохоров А.М.
Раков А.В. | | Патентообладатели: | Акционерное общество открытого типа НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" |
Реферат | |
Изобретение относится к области электронной микроскопии. Техническим результатом является повышение точности и уменьшение времени измерений линейных размеров элементов интегральных схем с помощью растровых электронных микроскопов (РЭМ). Тестовый объект для калибровки растровых электронных микроскопов выполнен в виде периодической монокристаллической кремниевой структуры с рельефной шаговой поверхностью, элементы которой имеют трапециевидный профиль, в котором проекции боковых граней на плоскость
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента