|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА |  |
Номер публикации патента: 2107970 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J037/317 H01J037/34 C23C014/35 | | Аналоги изобретения: | Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. - М.: Радио и связь, 1982, с. 11 и 45 (рис. 35в). |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете | | Изобретатели: | Кривобоков В.П.
Кузьмин О.С.
Легостаев В.Н. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете |
Реферат | |
Магнетронная распылительная система (МРС) относится к плазменной технике является основным узлом установки для нанесения тонких пленок из металлов и их соединений на диэлектрические листовые материалы большой площади. МРС содержит камеру, в которой расположены катоды и магнитная система. Катоды выполнены в виде труб из распыляемого материала, снабжены индивидуальными магнитными системами, расположенными вертикально в ряд на расстоянии 100-200 мм друг от друга, а подложки - листовой материал - расположены с обеих сторон вдоль боковой стенки камеры и выполнены с возможностью перемещения относительно ряда катодов. 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента