|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИСТОЧНИК ИОНОВ МЕТАЛЛОВ |  |
Номер публикации патента: 1533563 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J027/22 | | Аналоги изобретения: | Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. М.: Атомиздат, 1972. Плазменные ускорители и ионные инжекторы. Днепропетровск, 1986, с. 78. |
| Имя заявителя: | Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники | | Изобретатели: | Новикова Н.И.
Носков Д.А.
Орликов Л.Н.
Шангин А |
Реферат | |
Изобретение относится к ускорительной технике и может быть использовано в качестве источника ускоренных ионов в технологических установках. Цель изобретения - повышение надежности за счет повышения стабильности разряда. Источник ионов содержит ускоряющую систему из цилиндрических катода и анода, генератор плазмы, установленный на аноде, включающий кольцевую магниторазрядную камеру с диафрагмой и магнитной системой и блоки электропитания. Катод генератора плазмы выполнен симметричным относительно оси ускорителя, например в виде металлических стержней, установленных на окружности в торцовой части анода, а поджигающий электрод генератора плазмы расположен на оси устройства и выполнен, например, в виде диска, концентричного катоду генератора. Образующиеся ионы выводятся ускоряющим напряжением в направлении подложки. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента